Saulės Elementų Gamybos Technologinių Procesų Tyrimų Laboratorija

Pagrindinės laboratorijos veiklos sritys

  • Eksperimentiniai technologinių SE gamybos procesų tyrimai.

Vykdant MTTP veiklas naudojami bekontakčiai lazeriniai metodai, skirti paviršiaus darinių formavimui bei įgalinantys naujos sandaros didelio efektyvumo saulės elementų sukūrimą. Šioje laboratorijoje tobulinami esami SE gamybos technologiniai procesai bei kuriami nauji, didelį dėmesį skiriant naujiems lazeriniams procesams. Taip pat laboratorijoje atliekami moksliniu ir pramoniniu požiūriu reikšmingi labai trumpų – femtosekundinių – lazerinių impulsų taikomieji tyrimai.

  • PERC technologijos gamybinių procesų tyrimai .

Standartinė Al-BSF silicio saulės elementų technologija pilotinėje linijoje papildyta PERC procesais, kurie leidžia galinėje saulės elemento pusėje išauginti pasyvuojantį Al2O3 ir Si3N4 sluoksnį, lazerinio abliavimo būdu sluoksniuose atverti langus kontaktams ir suformuoti Al pastos kontaktinę metalizaciją. Tam naudojami Singulus AG silicio paviršiaus paruošimo įrenginys LINEA SSE & ISOTEX 400 PILOT, plonųjų plėvelių auginimo įrenginys Singular 1500 XP ir INNOLAS GmbH R&D Laser System ILS TT. Pademonstruota, kad PERC technologija leidžia bent 1% padidinti saulės elementų efektyvumą.

Paslaugos

  • Lazerinė difuzija
  • Dielektrinių sluoksnių šalinimas
  • Krašto izoliavimas
  • Kontaktų formavimas
  • Paviršiaus tekstūravimas
  • Contact formation
  • Paviršinių sluoksnių abliacija
  • Atideginimas, sulydymas, difuziniai procesai
  • Kompleksinės struktūros padengimas per šabloną
  • Si plokštelių pjaustymas arba griovelių, per kuriuos plokštelė skeliama, formavimas
  • Metalizacija
  • PECVD dangų užnešimas
  • Al2O3 ir Si3N4 auginimas
  • HF ir HNO3 proporcijų santykių nustatymas
  • Tikslaus svorio nustatymas
  • Tikslus objekto atvaizdas ir kokybės kontrolė
  • Sluoksnio varžos matavimas, varžos temperatūros koeficiento nustatymas

Kitos paslaugos

Menu